本实用新型涉及单晶硅制备技术领域，更具体地说，涉及一种单晶炉除尘筒中滤芯的清理装置。
背景技术：
硅的单晶体，是具有基本完整的点阵结构的晶体，其不同的方向具有不同的性质，是一种良好的半导材料，用于制造半导体器件、太阳能电池等，单晶硅的生产是用高纯度的多晶硅在单晶炉内拉制而成。单晶硅在生产制作过程中会掺杂B、P、Ga、As等元素，这些挥发物大多为剧毒物 质，多晶硅在拉直成单晶后进行排风时，会附带这些元素的挥发物，为了防止这些挥发物进入真空泵，导致真空泵损坏，需要通过单晶炉内的除尘筒滤除这些生产过程中产生的挥发物。除尘筒为单晶炉辅助设备，包括滤芯等主要部件，由单晶炉中出来的气体通过滤芯时，气体中的杂质会留在滤芯上，滤芯表面为褶皱结构，用于增大过滤面积，从而加强了过滤效果。目前，除尘筒滤芯的清理采用的是纯人工方式。每次在单晶炉进行清理时，将滤芯从除尘筒中取出，然后通过吸尘装置来吸收滤芯表面的杂质。吸尘装置上有吸尘管，吸尘管的端口上安装有吸头，吸尘装置通过吸头对滤芯的每个褶皱进行从上到下的清理。然而，滤芯上褶皱较多，且由人工来清理，清理时间长，清理难度较大，同时清理的效果也很难保证，容易出现遗漏的未进行清理的褶皱位置，从而影响了滤芯在使用时的排气效果。同时清理时，由于杂质是粉末状的，容易对操作人员造成危害，同时也在一定程度上影响了周围的环境。滤芯由于清理困难，可以将滤芯放置于喷砂机内，用高压空气对滤芯进行吹扫，可以在一定程度上减少人工操作的难度。然而这种方法仍然需要人工进行吹扫操作，清理效果存在很大的不稳定性；同时喷砂机内的空间小，导致滤芯的移动不便，且喷砂机内无支撑装置，滤芯的移动需要靠操作人员手工实现，容易在滤芯滚动的过程中造成其表面的磨损，影响滤芯的使用质量。因此，如何实现方便、有效的对滤芯进行清理，同时保证滤芯清理质量，是目前本领域技术人员亟待解决的问题。
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单晶炉除尘筒中滤芯的清理装置的方法R102.175.1-2
发布时间：2022-11-30 浏览次数：30 返回列表