APTECH阀AK1510S(31C 44000)

 APTECH阀AK1510S(31C 44000)

单级

·SS次级变量

重熔或超合金

建设

•清洁、组装和

高纯度包装

半导体的应用

•表面光洁度

15 RAzui 大值/ 10 RA平均值

（10, 7和5 RAzui 大选项）

•真空3500 psig

（241巴）进气道

人力资源部选择4500 psig

（310巴）

•流量标准为

30 SLPM（1立方英尺）

高频选项120 SLPM（4立方英尺）

•旋钮LOTO

（参阅美联社KL数据表）

•安装和操作

说明可在

www.aptech-online.com

在技术简介部分

APTECH阀操作参数

源真空压力为3500 psig（241条）

人力资源选择真空4500 psig（310条）

输送压力AP 1502 1至30 psig（0.07至2条）

AP 1506 2至60 psig（0.14至4条）

AP 1510 2至100 psig（0.14至7条）

工作压力验证压力150%

工作压力爆破压力300%

APTECH阀其他参数

进/出口连接器1/4或3/8英寸面密封或管焊接

阀盖端口1/8英寸不扩散核武器条约

流量系数（CV）0.09（0.15 HF选项）

内部容积0.51立方英寸（8.4厘米）

工作温度- 40°至160°F（- 40°至71°C）*

表面光洁度15µRAzui 大/ 10µ在。RA的平均。

（0.4/0.25µ米）标准；10µ在（0.25µm）；

7µ在（0.18µM）；和5µ在（0.13µm）RAzui 大可选

Inboard leakage 2 x 10-10 sccs

外漏2×10-9，他

漏过座4×10-8 SCCS他

安装面或面板（可选）

供应压力的影响，每100到0.25 psig的气源压力变化

HF 0.75 psig每100 psig

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