奥林巴斯OLS5000 3D 测量激光显微镜

LEXT专用物镜可精确测量采用其他方式测量会发生畸变的周边区域。

传统物镜

新的MEMS扫描振镜具有较低的扫描轨迹失真和较小的光学像差，可进行精确的X-Y扫描。

4K扫描技术可在X轴方向扫描4096像素，是奥林巴斯以前显微镜型号的四倍。
OLS5000显微镜可在无需进行图像校正的情况下检测几乎垂直的陡峭斜面以及极低的台阶。

由于传统激光显微镜采用诸如平滑消除噪声等标准图像处理技术，其有时会将精确测得的细微高度不规则测量数据连同噪声一起消除。
OLS5000显微镜采用奥林巴斯自动检测可靠数据的智能判别算法，可在不丢失细微高度不规则测量数据的情况下实现精确测量。