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为了快速的达到较高的真空度，COOL 系列水汽深冷泵快速捕集和吸 附真空腔内的水 汽，辅助抽真空，在极短的时间达到需求的真空度 COOL 系列水汽深冷捕集泵工作原理将 一个冷阱盘管或挡板，放置在真空室内 的腔壁上或油扩散泵的泵口，通过制冷盘管表面， 实现低温冷凝效应，迅速捕集集真空泵统的水汽分子或其它残余气体分子，从而获得洁净的 真空环境，提高产品的产量和质量，改善镀膜的品质，提高薄膜的附着力和多层镀 膜能力。
COOL 系列水汽深冷捕集泵有单级和双级的配置，双级制冷可单独控制每一路 的制 冷，两路冷阱盘管或挡板都能被快速除霜
