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罗茨泵的极限真空除取决于泵本身结构和制造精度外，还取决于前级泵的极限真空。为了提高泵的极限真空度，可将罗茨泵串联使用。罗茨泵的工作原理与罗茨鼓风机相似。由于转子的不断旋转，被抽气体从进气口吸入到转子与泵壳之间的空间v0内，再经排气口排出。由于吸气后v0空间是全封闭状态，所以，在泵腔内气体没有压缩和膨胀。 但当转子顶部转过排气口边缘，v0空间与排气侧相通时，由于排气侧气体压强较高，则有一部分气体返冲到空间v0中去，使气体压强突然增高。当转子继续转动时，气体排出泵外。罗茨泵在泵腔内，有二个"8"字形的转子相互垂直地安装在一对平行轴上，由传动比为1的一对齿轮带动作彼此反向的同步旋转运动。在转子之间，转子与泵壳内壁之间，保持有一定的间隙，可以实现高转速运行。
启动方式：
罗茨鼓风机在启动开机前应作好以下各项准备工作；
⑴完全打开进气调节阀，出气调节阀以及旁通管；
⑵检查进风口空气滤清器是否畅通，滤清器进口是否完全打开；
⑶检查管道、阀门、空气滤清器支撑是否稳固，不得有负荷力加在机壳上；
⑷检查润滑油是否良好，型号是否合适，润滑油层深度应达到规定油线以上3～5厘米，冷却水系统是否畅通；
⑸拨动联轴器、检查叶轮转运是否灵适，有无摩擦碰撞；
⑹检查各部位联接是否良好，有无松动；
⑺清除周围杂物，保持风机两米范围内无杂物；
⑻检查电气部分以及降压启动设备是否完好；
⑼检查检修工具是否齐备，消防灭火器材是否充足完备。
保养方法
(一)、罗茨真空泵定期检查:
1、每日检查:
（a)油位检查:油量过多，使温度升高，油量过少，造成润滑不良。
（b)温度检查:用温度计检查泵各部位温度。
（c)电动机负荷检查:用功率表或电流，电压表测量电动机负荷。
2、罗茨真空泵每月检查:
联轴器及垫片是否损坏和松动。
3、罗茨真空泵每3个月检查:
齿轮箱内润滑油是否变质。
4、罗茨真空泵每6个月检查:
（a)前盖轴承箱内润滑油是否变质。
（b)活塞环及活塞环衬套是否磨损。
（c)齿轮微量程度的磨损对转子正常运转是否产生影响，是否需要调整
