微振动测试系统

随着近些年来半导体行业的飞速发展，对于微细加工技术的要求也越来越高。微电子生产设备，光学仪器等高灵敏度设备，针对其工作环境（如振动，噪声，电磁以及温湿度），尤其是振动条件提出了更苛刻的要求。针对此类振动幅值小，精度要求高，工作频率低的使用环境特征，常规的通用数据采集设备无法满足其测量评估要求。

微振动测试模拟

针对微振动测试模拟需求，瑞鸿科技提供完整的微振动测试与模拟的交钥匙解决方案，已有多家客户正在使用。

1.         微振动模拟发生器

2.         微振动配套环境实时

3.         可以模拟0.1mg正弦扫频

4.         测试可以达到ug级微振动测试

整个系统建立在隔振环境好的实验室内，由低噪声的微振动控制器、低噪声微振动试验系统、低噪声的传感器以及电脑组成。微振动发生试验系统包括低噪声低失真的功率放大器、微振动发生器和冷却系统以相关的辅助设施实现。

为了整个系统的性能要求，采取了微振动采集仪低噪声的设计和生产，同时选用低噪声的微振动拾取器，配合低噪声算法软件，实现微振动的测试，整个系统达到0.01mg的测试精度。

优势

（1）           整个系统低噪声，动态响应好，失真度低，低噪声

（2）           公司整个针对微振动系统工程经验丰富，技术成熟

（3）           上海可以本地技术支持

（4）           有成熟案例

主要技术参数和指标

（1）           主要频率范围5Hz～100Hz。

（2）           振动加速度范围1mg～0.05g(可视实际环境工况而定)

（3）           控制精度mg级

（4）           振动方式：正弦、随机、冲击

（5）           负载重量：大于200kg

系统组成（非标定制）

微振动发生系统：包含低噪声低失真功率放大器、微振动发生器和冷却系统。功率放大器采用风冷，为低噪声低失真的输出功率为15KVA。放大器采用新技术的MOSFET功率晶体管，数字脉冲模式工作方式。不对称输入，具有高功效的大的带宽,针对于微振动试验的特殊要求，专门对攻放进行低噪声的优化设计，使攻放的信噪比优于80dB，失真度小于0.7%，针对于微振动的低励磁模式控制。微振动发生器装有自动气囊载荷补偿装置，在大负荷下能实现振幅。针对微振动微笑振动控制的优化设计，使微振动发生器及时在微小振动情况下也能做到高响应精度发生，微振动发生器和放大器之间的连接电缆长5米。

微振动控制系统：振动控制设备的插件包括标准的数字信号处理面板，模拟-数字和数字-模拟转换软件，处理所有振动和冲击控制模式的标准软件。针对微振动专门优化硬件和软件，实现低噪声设计控制。

微振动采集分析系统：为了整个系统的性能要求，采取了微振动采集仪低噪声的设计和生产，同时选用低噪声的微振动拾取器，配合低噪声算法软件，实现微振动的测试，整个系统达到0.01mg的测试精度。

加速度传感器与附件（选件）：针对微振动试验要求，选用低噪声的传感器，以及放大器来实现微振动的试验。